據(jù)彭博社報道，ASML新一代EUV每臺耗電約1百萬瓦，三星、臺積電等芯片制造大廠能源消耗巨大;臺積電對化石燃料高度依賴，2025年耗能估占中國臺灣省的12.5%。世界僅此一家的EUV公司ASML，旗下新一代的EUV光刻機(jī)耗資高達(dá)1.5億美元，包含10萬個部件和長達(dá)2公里的布線。

EUV光刻機(jī)體現(xiàn)著更先進(jìn)芯片的制造過程正變得復(fù)雜和能源密集。ASML當(dāng)前每臺EUV的額定耗電量約為1百萬瓦，約為前幾代設(shè)備的10倍，但由于沒有替代品來制造最先進(jìn)的半導(dǎo)體，芯片行業(yè)可能成為減少全球碳排放的重要絆腳石。

臺積電為業(yè)界擁有最多EUV光刻機(jī)的公司，公司目前已有超過80臺EUV，新一代設(shè)備還在安裝中。預(yù)計到2025年，僅臺積電一家公司就將占全中國臺灣省整體能源消耗的12.5%，遠(yuǎn)高于2020年時的6%。

對于芯片制造的能源消耗問題，環(huán)保組織綠色和平(Greenpeace)氣候能源項目主任鄭楚忻曾表示，缺電必然發(fā)生，其他行業(yè)將受其牽連。比利時微電子研究中心(Imec)Lars-AkeRagnarsson指出，在使用高耗能設(shè)備的芯片廠，再生能源變得緊急且必要。

韓國芯片制造巨頭三星也面臨著類似的能源消耗問題。三星在韓國擁有六個半導(dǎo)體制造基地，2021年占其功耗的3%。

對于這樣的說法，臺積電表示，公司持續(xù)推進(jìn)半導(dǎo)體高階制程技術(shù)，生產(chǎn)更先進(jìn)、更具能源效率及更環(huán)保的產(chǎn)品，其還在積極投入綠色制造，落實節(jié)能減碳相關(guān)作為，包括致力優(yōu)化制程能源使用效率，同時和機(jī)臺設(shè)備商合作開發(fā)新的節(jié)能行動方案。

按照該公司引述2020年工研院產(chǎn)業(yè)科技國際策略發(fā)展所(ISTI)模型推導(dǎo)分析結(jié)果，稱臺積電每使用1度生產(chǎn)用電，能為全球減省4度電。

關(guān)鍵詞： 新一代EUV EUV光刻機(jī) 光刻機(jī)為什么只有ASML能生產(chǎn) 臺積電自己能生產(chǎn)光刻機(jī)嗎